NF3 在电子制造中应用及经济,环保.11126/644

据 CEN Nov 28,2011题为"A clean fight"报导. 这项全球产量为12,000吨/年的产品,分别在日本,韩国,以及美国Air product co等生产. 价格原耒$100/b, 但在 2007 后 ,下降到$ 30-40/b ,在批量大时,甚至低於$20/b. 文中还提到产品所涉环保问题.